Асферический однолинзовый объектив для систем радиовидения миллиметрового диапазона длин волн

Страница создана Руслан Касаткин
 
ПРОДОЛЖИТЬ ЧТЕНИЕ
Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 4

11
Асферический однолинзовый объектив для систем радиовидения
миллиметрового диапазона длин волн
© П.В. Волков,1 Ю.И. Белов,2 А.В. Горюнов,1 И.А. Илларионов,1 А.Г. Серкин,2 В.И. Шашкин 1
1
  Институт физики микроструктур РАН,
603950 Нижний Новгород, Россия
2
  Научно-исследовательский радиофизический институт,
Нижний Новгород, Россия
e-mail: volkov@ipmras.ru
(Поступило в Редакцию 20 июня 2013 г.)
           Представлены характеристики созданной системы формирования видеоизображения объектов в диапазоне
         длин волн 3-mm. Описана процедура расчета и приведены характеристики разработанного и исследованного
         асферического однолинзового объектива для формирования изображения — функции рассеяния точки,
         разрешения, поля зрения. В плоскости изображения детектирование сигналов осуществлено матрицей
         8 × 8 антенных элементов, нагруженных детекторами. Регистрация, управление, ввод−вывод электрических
         сигналов, формирующих изображение, осуществлены цифровым блоком обработки, параметры которого —
         скорость обработки и передачи данных — приведены. Проведены пробные эксперименты по получе-
         нию изображений простых предметов (одной и нескольких металлических сфер разного диаметра) в
         активном радиолокационном режиме с использованием разработанной системы на монохроматическом
         сигнале.

Введение                                                       ред объективом [3,4]. Однако данные системы получают-
                                                               ся сложными с точки зрения их технической реализации
  В настоящее время наблюдается большой интерес к              и практически не пригодными для реальных применений.
разработке и созданию систем получения изображения в           Наибольшие успехи были достигнуты при использова-
миллиметровом (ММ) диапазоне длин волн (систем ра-             нии многоканальных приемников — линеек детекторов
диовидения). Причем наибольшая активность наблюда-             с одномерным сканированием. Использование линеек
ется в области решения задач, связанных с противодей-          не позволяет полностью избавиться от механического
ствием терроризму. Одной из основных причин этому              сканирования. Тем не менее уже при таком подходе
является тот факт, что большое количество материалов,          выигрыш в частоте получаемых кадров изображения со-
используемых в быту (ткань, пластик и др.), оказыва-           ставляет не менее N раз для кадра размерностью N × N
ются прозрачными для ММ-волн, что позволяет решить             точек. К тому же сканирование осуществляется только
задачу обнаружения оружия и взрывчатых веществ под             по одной координате, что значительно упрощает кон-
одеждой и в багаже в аэропортах и других общественных          струкцию сканера. Причем есть варианты конструкций
местах, а также обнаружения закладок и посторонних
                                                               как с перемещающейся линейкой, так и с поворотным
вложений в различных предметах, например, в обуви,
                                                               зеркалом. Примеры построения систем радиовидения
почтовых отправлениях [1].
                                                               с линейкой детекторов и однокоординатным сканером
  Поскольку в обозначенных выше задачах в первую
                                                               приведены в работах [5,6]. Но наиболее перспективными
очередь речь идет о системах непрерывного наблюдения,
                                                               на наш взгляд выглядят системы с матричными при-
то скорость получения изображения становится одним
                                                               емниками, в которых полностью отсутствует механиче-
из ключевых параметров. С точки зрения удобства
                                                               ское сканирование [7]. Такие системы являются наибо-
использования, а также интегрирования ММ-систем ви-
дения в существующие системы видеонаблюдения оп-               лее близкими к классическим видеокамерам в смысле
тимальной является конструкция с использованием ре-            идеологии их построения и потенциально позволяют
фракционной оптики (объектива), переносящей наблю-             получить максимальное быстродействие, ограниченное
даемую сцену на плоскость изображения. Изначально              только скоростью электрической коммутации каналов и
такие системы строились на базе одиночного детектора,          чувствительностью.
сканирующего плоскость изображения [2]. Очевидно, что            В настоящей работе приведены результаты исследова-
такой подход сравним по своим характеристикам со               ний оптических характеристик созданного макета систе-
сканированием пространства антенной и не позволяет             мы ММ-видения с асферической линзой — объективом,
получить заметный выигрыш по времени получения                 позволяющим получать безаберрационное изображение
кадра изображения. Предпринимались попытки создать             во всем рабочем поле и проводить его анализ с помощью
квазидвумерную приемную систему с одноэлементным               двумерного матричного детекторного приемника раз-
приемником, в котором сканирование по пространству             мерностью 8 × 8, интегрированного с высокоскоростной
осуществлялось за счет набора амплитудных масок пе-            системой цифровой обработки сигналов.

                                                         120
Асферический однолинзовый объектив для систем радиовидения...                                                  121

Описание системы                                           O
                                                                       D
  Схема созданной системы приведена на рис. 1. Объек-                       Amp
тив представлял собой линзу, выполненную из полиэти-
                                                                                              Mx       CPU    PC
лена высокой плотности с двумя асферическими поверх-
ностями. В плоскости изображения объектива устанав-
                                                                            Amp
ливалась созданная матрица детекторов размерностью
8 × 8, подключенная через малошумящие усилители к
цифровому блоку сбора и обработки информации. В ка-       Рис. 1. Общая схема системы. O — объектив, D — матрица
честве приемных элементов в матрице использовались        детекторов, Amp — малошумящие усилители, Mx — мульти-
планарные детекторы на основе модифицированных ще-        плексор каналов, CPU — цифровой блок обработки, PC —
левых антенн с непосредственно включенными в них          персональный компьютер.
низкобарьерными диодами Мотта на основе структуры
Al/GaAs с δ-легированным слоем вблизи контакта [8,9].
  Характеристики приемных элементов матрицы, такие          4. Поле изображения (линейные размеры матрицы)
как NEP и диаграмма направленности, приведены в           36 × 36 mm.
работе [10]. В ней показано, что достигнутые характери-     5. Межпиксельное расстояние 4.5 mm.
стики достаточны для построения непосредственно си-         6. Количество пикселей 8 × 8.
стемы видения. При этом необходимо было разработать         7. Рабочий диапазон 90−100 GHz. Определялся как
оптическую систему, переносящую изображение сцены         рабочая полоса приема детекторов матрицы.
на матрицу.                                               Параметры 4−6 определялись конструкцией уже разра-
  Для формирования изображения было принято ре-           ботанной матрицы [10]. Фокусное расстояние объектива
шение создать рефракционную оптическую систему.           выбиралось, исходя из заданных выше параметров. Из-
Основным достоинством таких систем является отсут-        вестно, что радиус первого темного кольца дифракцион-
ствие излома оптической оси, что сильно упрощает их       но ограниченного объектива ρdifr в фокальной плоскости
конструкцию и юстировку. Поскольку межпиксельное          при бесконечно удаленном объекте составляет [12]
расстояние в создаваемой матрице порядка длины волны
или несколько больше, то объектив должен быть хорошо                                         λ
                                                                              ρdifr = 1.22     f,              (1)
скомпенсирован на аберрации, причем для достаточно                                           D
большого углового поля в пространстве изображений.
                                                          где λ — длина волны излучения, D — диаметр входного
В оптике видимого диапазона подобные проблемы ре-
                                                          зрачка объектива (для одиночной линзы — диаметр
шаются, как правило, использованием многоэлементых
                                                          линзы), f — его фокусное расстояние. Оптимальной по
объективов. Однако для ММ-диапазона создание объек-
                                                          критерию контраста будет ситуация, когда первое тем-
тива, состоящего из большего количества линз, затруд-
                                                          ное кольцо будет попадать на соседний с основным пик-
нительно. Во-первых, это связано с наличием заметного     сел, т. е. ρdiff ≈ 4−5 mm. Используя (1), легко получить,
поглощения в материалах (как правило, полимерах) [11],    что оптимальное фокусное расстояние при диаметре
применяемых для создания оптических элементов в этом      линзы 100 mm составляет 100−140 mm. Отсюда можно
диапазоне, во-вторых, с достаточно большими габарита-     рассчитать, что при f = 100 mm и при расстоянии
ми отдельных элементов данного диапазона длин волн.       b = 1 m до объекта линейное увеличение M = (b − f )/ f
  Исходными параметрами для расчета объектива были        составит M ≈ 9, что соответствует линейному разреше-
выбраны следующие:                                        нию сцены около 40 mm. Таким образом, в качестве
  1. Диаметр линз не более 100 mm определялся исходя      целевого значения фокусного расстояния была выбрана
из компактности габаритов создаваемого макета.            величина f = 100 mm.
  2. Толщина линзы менее 40 mm.                             Оценим возможность использования в предлагаемой
  3. Разрешение (линейный размер площадки, отобража-      системе ММ-видения одиночной линзы для построения
емой в один пиксел) — не более 40 mm при расстоянии       изображения с точки зрения возможности компенсации
до объекта 1 m. Данная величина выбиралась исходя из      аберраций до приемлемого уровня. В качестве материа-
того, что в задачах обнаружения скрытых предметов в       ла будем рассматривать полиэтилен высокой плотности.
первую очередь речь идет о терминальных приложениях       Основными его достоинствами являются сравнительно
с расстоянием до объекта в единицы метров. При этом       небольшое поглощение, простота обработки и малая
для активных систем с когерентной подсветкой вид          дисперсия диэлектрической проницаемости в рабочем
радиоизображения, как правило, не соответствует его       диапазоне частот [13], что позволяет не учитывать хро-
изображению в видимом диапазоне, а основная задача        матические искажения изображения. В рамках теории
заключается в определении факта наличия постороннего      аберраций третьего порядка Зайделя [14] выделяются
предмета и места его расположения в контролируемом        пять монохроматических аберраций: сферическая абер-
объеме.                                                   рация, меридиональная кома, кривизна поля изображе-

Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 4
122                            П.В. Волков, Ю.И. Белов, А.В. Горюнов, И.А. Илларионов, А.Г. Серкин, В.И. Шашкин

       2.5                                                            системы дисторсия не превышает 0.1 mm, что позволяет
                                                         SI           пренебречь ею.
        2                                                SII            Поскольку регистрация изображения осуществляется
                                                         SIII         плоской матрицей, то величина астигматизма не играет
       1.5                                               SIV
                                                                      большой роли, при этом принципиально неустранимой
SI–V

        1                                                SV
                                                                      аберрацией для одиночной линзы является кривизна по-
       0.5                                                            ля изображения. Ее наличие приводит к дефокусировке
                                                                      изображения по мере удаления от его центра и факти-
        0
                                                                      чески ограничивает максимальный размер используемой
   –0.5                                                               матрицы. Сдвиг положения фокуса для крайних точек
             55   60   65   70     75 80     85   90    95 100        плоскости изображения z ′av определяется выражением
                                 R1, mm
                                                                                  z ′av = −0.5 f tg2 ω(2S ∞       ∞
                                                                                                          III + S IV ).   (4)
Рис. 2. Суммы Зайделя для различных значений радиуса
кривизны первой поверхности при фиксированном фокусном                Исходя из значений сумм Зайделя и (4) можно оценить,
расстоянии.                                                           что сдвиг фокальной точки на краю поля изображения
                                                                      будет меньше 2.5 mm, что примерно в 2 раза меньше
                                                                      длины фокальной перетяжки в гауссовом приближении.
ния, астигматизм и дисторсия, которые определяются со-                Следовательно, в нашем случае кривизну поля также
ответствующими суммами Зайделя S I–V , вычисляемыми                   можно не учитывать. Величина меридиональной комы
через параметры системы. Методы расчета сумм Зайде-                   определяется выражением
ля подробно описаны (см., например, [14]). Поскольку                                                m2 ∞ 2
фокусное расстояние и толщина линзы нами заданы,                                     KIII = −1.5       S tg ω,            (5)
                                                                                                     f II
то радиусы кривизны поверхностей линзы r 1,2 связаны
через известное выражение для толстой линзы                           где m — координата луча на входном зрачке. Отсюда
                                                                      легко оценить, что для края зрачка (m = D/2 = 50 mm)
   1/ f = (n − 1)(1/r 1 − 1/r 2 ) + (n − 1)2 d/(nr 1 r 2 ),     (2)   KIII ≈ 3 mm, что хотя и меньше размера пиксела, но
                                                                      уже сравнимо с ним, и будет приводить к некоторому
где n — показатель преломления материала линзы,                       размытию изображения.
f — ее фокусное расстояние, d — толщина. С другой                       И наконец, оценим величину сферической аберрации.
стороны, если определены диаметр и толщина линзы, то                  Она определяется выражением
существует конструктивное ограничение снизу на радиус
кривизны одной поверхности. В нашем случае радиус                                                       m2 ∞
                                                                                       1S ′∞
                                                                                          III = −0.5       S .            (6)
кривизны не может быть меньше 50 mm. Поскольку                                                           f I
увеличение системы достаточно велико, то оценку абер-
рационных свойств удобнее всего сделать для объекта,                  Исходя из (6) и значений S I для края зрачка полу-
                                                                               ∞
находящегося в бесконечности. На рис. 2 приведены                     чим 1S ′ III > 25 mm. Таким образом, для применения
графики значений сумм Зайделя S ∞                                     одиночной линзы в качестве объектива необходимо
                                I–V , рассчитанных при
общепринятых условиях нормировки вспомогательных                      устранение двух аберраций — меридиональной комы и
лучей для бесконечно удаленного объекта [14], для                     сферической. Данную проблему можно решить путем
различных радиусов кривизны первой поверхности в                      асферизации поверхностей линзы. Причем наличие двух
диапазоне 50−100 mm. Рассматривать большие значения                   степеней свободы — двух поверхностей — позволяет
радиусов кривизны первой поверхности нецелесообраз-                   рассчитывать на успешное решение задачи. В mm-
но в силу быстрого роста сферической аберрации.                       диапазоне легко преодолевается основная проблема оп-
  Исходя из этих данных оценим величины аберраций                     тической асферики — сложность и дороговизна ее
третьего порядка для нашей системы. Известно, что                     изготовления, что связано с относительной простотой
величина дисторсии оптической системы определяется                    обработки полимерных материалов. Известно, что, со-
выражением [14]                                                       гласно критерия Марешаля для дифракционно ограни-
                                                                      ченного объектива, максимальная величина волновой
                  1y ′IIId = −0.5 f S ∞   3
                                      V tg ω,                   (3)   аберрации h в выходном зрачке должна удовлетворять
                                                                      условию h < λ/14 [15]. Это приводит к требованию на
где 1y ′IIId — разность между реальным положение                      точность изготовления поверхности линзы для однолин-
главного луча в плоскости изображения и положением,                   зового объектива δ < 2h/(n − 1), где n — показатель
соответствующим идеальному изображению, ω — угло-                     преломления материала линзы, что в нашем случае
вое поле системы, в нашем случае tg ω ≈ 0.16. Расчет                  составляет величину δ < 0.2 mm.
показывает, что для заданных ранее конструктивных                       В рамках теории аберраций третьего порядка асфе-
параметров величина S V лежит в диапазоне −0.4−0.1.                   ризация двух поверхностей позволяет полностью ском-
В результате из (3) получаем, что для проектируемой                   пенсировать кому и сферическую аберрацию. Однако в

                                                                             Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 4
Асферический однолинзовый объектив для систем радиовидения...                                                                                                  123

                   1                                                        поперечное сечение функции рассеяния точки (ФРТ)
                                                             center         объектива. При этом на рис. 4, a приведена ФРТ, из-
                 0.8                                         middle         меренная с помощью матрицы, а на рис. 4, b — оди-
                                                             corner
 I, arb. units

                                                                            ночным детектором, который перемещался в фокальной
                 0.6                                                        плоскости в направлении, перпендикулярном оптиче-
                                                                            ской оси, с шагом 0.1 mm. Видно, что ширина кривой
                 0.4
                                                                            по уровню 0.5 составляет около 3.4 mm, что обеспе-
                                                                            чивает контраст изображения точечного источника не
                 0.2
                                                                            хуже 50 : 1. Поскольку кривая, с одной стороны, не имеет
                                                                            плоской крыши“, а с другой — имеет ширину меньше
                  0                                                                   ”
                  –10 –8 –6 –4      –2      0  2   4     6     8      10    межпиксельного расстояния, то можно утверждать, что
                                         r, mm                              оптическая система хорошо согласована с матрицей и
Рис. 3. Распределение мощности в фокальном пятне для                        имеет размер пятна рассеяния немного меньше размера
различных пикселей матрицы.                                                 пиксела.
                                                                              Разрешение системы при расстоянии до источника
                                                                            1 m составило около 34 mm при величине поля зрения
                                                                            238 × 238 mm. Для проверки хроматических искажений
нашем объективе из-за достаточно большого углового                          объектива была измерена ФРТ при различных частотах
поля системы будут присутствовать аберрации высших
                                                                            источника (рис. 5). Изменения в диаграммах являются
порядков. В результате устранить аберрации полностью
                                                                            незначительными. Отсюда можно сделать вывод, что
для всего поля системы не удастся, однако, как будет по-
                                                                            данный объектив может быть использован при широко-
казано далее, их величину можно будет минимизировать
                                                                            полосной подсветке в диапазоне 92−105 GHz.
до приемлемого уровня. Отдельно отметим, что в отли-
                                                                              Система регистрации и обработки сигналов матрицы
чие от остальных аберраций асферизация поверхностей
                                                                            состояла из блока мультиплексоров аналоговых сигна-
линзы не влияет на кривизну поля [14]. Поэтому для
                                                                            лов, обеспечивающих построчную выдачу сигналов с
построения широкоугольных систем применение двух-
                                                                            канальных усилителей на АЦП, цифрового блока на
трехлинзовых объективов будет принципиальным.
                                                                            базе 32 разрядного микроконтроллера AT32UC3C0512
  Окончательные расчет и оптимизация линзы про-
                                                                            фирмы Atmel и ПЭВМ, соединенной с цифровым блоком
водились методом трассировки лучей [16]. Миними-
                                                                            по каналу USB. Выбор данного микроконтроллера был
зировался размер пятна рассеяния одновременно для
двух точечных источников, один из которых находился
на оси системы, а второй на краю объектного поля.                                            1.2
Оптимизационными параметрами выступали уравнения                                                       a
поверхностей, которые задавались в виде поверхностей                                           1
вращения второго порядка
                                                                             I, arb. units

                                                                                             0.8
                                           2
                                     cr                                                      0.6
                        z =      p                   ,                (7)
                              1 + 1 − (1 + k)c 2 r 2
                                                                                             0.4
где z — расстояние до образующей плоскости, c — кри-                                         0.2
визна поверхности, r — радиус точки, k — коническая
константа.                                                                                    0
                                                                                                   0       1   2       3       4       5       6       7   8
  На рис. 3 приведены расчетные графики распределе-                                                                                N
ния мощности в фокальном пятне для центрального,
                                                                                               1
промежуточного и углового пикселей. Видно, что в
                                                                                                       b
угловом пикселе присутствует остаточная кома, при-                                           0.8
водящая к асимметрии пятна и небольшому падению
                                                                             I, arb. units

контраста. Тем не менее поскольку при правильной на-                                         0.6
стройке энергия основного максимума практически вся
приходится на один пиксел, а первое кольцо размывается                                       0.4
по нескольким, то расчетный контраст по всему полю
получился не хуже 35 : 1.                                                                    0.2

                                                                                              0
Результаты экспериментов                                                                           0       1       2       3      4        5       6       7   8
                                                                                                                               x, mm
  Ниже приведены оптические характеристики системы,                         Рис. 4. Функция рассеяний точки: a — изображение с
полученные экспериментально. На рис. 4 приведено                            матрицы; b — снятая одиночным детектором с шагом 0.1 mm.

Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 4
124                            П.В. Волков, Ю.И. Белов, А.В. Горюнов, И.А. Илларионов, А.Г. Серкин, В.И. Шашкин

                 a                                      b                                               c
         3                                      3                                               3
         2                                      2                                               2
         1                                      1                                               1
         0                                      0                                               0
             2                                      2                                               2
                 4                          8           4                                   8               4                                  8
                     6                  6                   6                           6                       6                       6
                         8          4                           8               4                                   8           4
                                2                                       2                                                   2
                     Рис. 5. ФРТ объектива для различных частот подсветки: a — 92.2, b — 98.2, c — 105 GHz.

                                                                                                                                    2
                                                                    8
                                                                    7
                                                                    6
                                                                    5

                                                                                                                                        U, V
                                                                    4
                                                                    3
                                                                    2
                                                                    1
                                                                            1       2       3   4   5           6   7   8           0
                                                                                                                                    2
                                                                    8
                                                                    7
                                                                    6
                                                                    5                                                                   U, V
                                                                    4
                                                                    3
                                                                    2
                                                                    1
                                                                            1       2       3   4   5           6   7   8           0

             Рис. 6. Набор металлических сфер (слева) и их изображение, зарегистрированное системой (справа).

обусловлен тем, что он имеет в своем составе 12 разряд-             по получению изображений простых предметов при
ный АЦП с мультиплексором на 8 дифференциальных                     регистрации отраженного монохроматического сигнала.
каналов и контроллер канала USB. Разработанное про-                 На рис. 6 приведены сигналы, зарегистрированные де-
граммное обеспечение микроконтроллера обеспечивало                  текторной матрицей при облучении металлических сфер
построчное считывание сигналов с детекторов матрицы                 монохроматическим излучением с частотой 94.2 GHz.
с их последующей передачей в ПЭВМ для обработки                     Видно, что отраженный сигнал регистрируется одним
и визуализации. Достигнутая скорость работы системы                 детектором и отображается в одном пикселе. Возмож-
около 50 кадров/s при визуализации данных и около                   на регистрация сигнала от нескольких металлических
250 кадров/s без визуализации.                                      шаров разных диаметров. При этом величина сигнала
  С использованием разработанной системы, состоящей                 возрастает при увеличении диаметра. Заметного взаи-
из линзы и матрицы детекторов, помещенной в ее                      мовлияния шаров на ММ-изображение не обнаружи-
фокальную плоскость, были проведены эксперименты                    вается.

                                                                                    Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 4
Асферический однолинзовый объектив для систем радиовидения...                                                            125

Заключение                                                         [14] Заказнов Н.П., Кирюшин С.И., Кузичев В.И. Теория
                                                                        оптических систем. СПб.: 2008. 448 с.
  В настоящей работе представлена созданная си-                    [15] Сокольский М.Н. Допуски и качество оптического изоб-
стема получения видеоизображения диапазона длин                         ражения. Л.: Машиностроение, 1989. 220 с.
                                                                   [16] Smith W.J. Modern Lens Design. NY: McGraw-Hill, 1992.
волн 3 mm, состоящая из асферической линзы, обеспе-
                                                                        485 p.
чивающей дифракционное качество изображения по всей
регистрирующей излучение матрице 8 × 8 детекторов в
заданном диапазоне частот 90−100 GHz, и цифрового
блока регистрации и управления на базе микроконтрол-
лера Atmel AT32UC3C0512.
  С использованием разработанной системы проведе-
ны эксперименты по получению изображений простых
предметов (одной и нескольких металлических сфер
разного диаметра) при регистрации отраженного моно-
хроматического сигнала.
  Полученные результаты говорят о хороших перспек-
тивах построения многопиксельных систем ММ-видения
реального времени с рефракционной оптикой.
 Работа выполнена при поддержке РФФИ, проект
№ 12-02-12006-офи_м.

Список литературы
 [1] Oka S., Togo H., Kukutsu N., Nagatsuma T. // Prog. in
     Electromagn. Res. Lett. 2008. Vol. 1. P. 197−204.
 [2] Du Bosq T.W., Lopez-Alonso J.M., Boreman G.D. // Appl.
     Opt. 2006. V. 45, N. 22. P. 5686−5692.
 [3] Chan W.L., Charan K., Takhar D., Kelly K.K., Baraniuk R.G.,
     Mittleman D.M. // Conf. on Lasers and Electro-Optics/
     Quantum Electronics and Laser Science Conference and
     Photonic Applications Systems Technologies, OSA Technical
     Digest (CD). 2008. P. CThN1.
 [4] Ma Y., Grant J., Saha S., Cumming D. // Opt. Lett. 2012.
     Vol. 37. N. 9. P. 1484−1486.
 [5] Hiroyasu Sato, Kunio Sawaya et. al. // Proc. of SPIE. 2010.
     Vol. 7671. P. 76710V-1.
 [6] Grossman E.N., Dietlein C.R., Bjarnason J.E., Ramirez M.,
     Leivo M., Penttilad J.A., Helistoc P. // Proc. SPIE. 2008.
     Vol. 6948. P. 694 806.
 [7] Rebeiz G.M. // Proc. IEEE, 1992. Vol. 80, N 11.
     P. 1748−1770.
 [8] Шашкин В.И., Дрягин Ю.А., Закамов В.Р., Кривов С.В.,
     Кукин Л.М., Мурель А.В., Чеченин Ю.И. // Радиофизика.
     2007. Т. 51, № 12. С. 1077−1087.
 [9] Шашкин В.И., Мурель А.В., Дроздов Ю.Н., Даниль-
     цев В.М., Хрыкин О.И. // Микроэлектроника. 1997. T. 26.
     Bып. 1. C. 57−61.
[10] Шашкин В.И., Белов Ю.И., Волков П.В., Горюнов А.В.,
     Закамов В.Р., Илларионов И.А. // Письма ЖТФ. 2013.
     Т. 39. Вып. 12. С. 44−49.
[11] Паршин В.В., Третьяков М.Ю., Кошелев М.А., Се-
     ров Е.А. // Изв. вузов. Радиофизика. 2009. Т. 52. № 8.
     С. 583−594.
[12] Борн М., Вольф Э. Основы оптики М.: Наука, 1970. 720 с.
[13] Naftaly M., Miles R.E. // Proc. IEEE. 2007. Vol. 95. N 8.
     P. 1658−1665.

Журнал технической физики, 2014, том 84, вып. 4
Вы также можете почитать